電子技術的發展，解決了電容式傳感器存在的許多技術問題，使電容式傳感器不但廣泛

應用于精確測量位移、厚度、角度、振動等物理量，還應用于測量力、壓力、差B~ 、流量、

成分、液位等參數，在自動檢測與控制系統中也常常用來作為位置信號發生器。

    例3-2 電容式壓差傳感器

    圖3-24 所示是一種差動式電容壓差傳感器的結構原理圖。 電容式傳感器的動;假桓是加

有預張力的不銹鋼膜片，作為傳感器的彈性敏感元件。傳感器的兩個定極極由凹形破璃基片

上鍍有金屬層的極板構成。

    當被測壓力通過多孔金屬過濾器進入空腔時，由于彈性膜片兩側的壓力差，膜片凹向壓

力小的一側，產生位移，從而使一個電容的電容量增大，另一個減小。這種傳感器的靈敏度

和分辨率都很高， 靈敏度取決于初始間隙仇， eo 越小靈敏度越高。過載時，膜片受到凹曲
的玻璃表面的保護， 而不至發生破裂。該傳感器可以測量。-0. 75Pa 的徽小壓差.其動態……

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